タフなLSIを創る
宇宙や災害時の原子力発電所内で動作可能な
耐放射線性デバイスを開発
耐放射線性のVLSI
放射線が突き抜けても誤動作しないLSIの構造を考える。
+
{
突発的な現象に備えた構造
長期間に渡って照射されても平気な構造
↓
1)
深さ方向には薄く........数十μm以下(約0.02mm)
2)
水平方向には大きく.......数百μm角のトランジスタ(火星探査機などでの経験の反映)
